工业加湿器在无尘车间的作用湿度控制是无尘车间消费必需具备的重要条件，相对湿度是无尘车间、干净室运作过程中一个常用的环境控制条件。半导体无尘车间、干净室中的典型的相对湿度的目的值大约控制在30至50%的范围内。

　　允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处置（DUV）区以至更小而在其他中央则能够放松到±5%的范围内。相对湿度有一系列可能使干净室总体表现降落的要素，其中包括：细菌生长；工作人员感到室温温馨的范围；呈现静电荷；金属腐蚀；水汽冷凝；光刻的退化；吸水性。

　　细菌和其他生物污染（霉菌，病毒，真菌，螨虫）在相对湿度超越60%的环境中能够活泼地繁衍。一些菌群在相对湿度超越30%时就能够增长。在相对湿度处于40%至60%的范围之间时，能够使细菌的影响以及呼吸道感染降至低。

　　高湿度实践上减小了无尘车间、干净室外表的静电荷积聚──这是大家希望的结果。较低的湿度比拟合适电荷的积聚并成为潜在的具有毁坏性的静电释放源。当相对湿度超越50%时，静电荷开端疾速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们能够在绝缘体或者未接地的外表上持续存在很长一段时间。